輪郭形状測定機
CV-2000M4
| 測定範囲 |
X軸 |
１００ｍｍ |
| Ｚ軸 |
４０ｍｍ |
| 指示精度 |
Ｘ軸 |
（３．５＋２Ｌ/100）μm Ｌ：測定長さ（mm） |
| Z軸 |
±（3．5＋｜４H｜/25）μm |
| 真直度 |
2 |
3.5μm/100mm |
| 位置検出方式 |
X軸 |
リニアスケール 分解能：0.2μm |
| Z軸 |
円弧スケール 分解能：0.5μm |
| 送り速度 |
測定時 |
0.2，0.5mm/ｓ |
| 移動時 |
0.2、1mm/ｓ |
| 測定力 |
2 |
１０〜３０ｍM（水平、標準アーム使用時） |
| スタイラス追従角度 |
上り |
７７'（表面性状による） |
| 下り |
87'（表面性状による） |
| 測定送り方向 |
2 |
引き方向 |
| 測定面方向 |
2 |
下方向 |
| 輪郭解析プログラム |
23 |
FORMPAK-1000 |
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表面粗さ測定機
SV-2000N
| 測定力 |
0 |
４mN仕様 |
| 測定範囲/分解能 |
Z 軸 |
800μm/0.01μm 80μm/0.001μm 8μm/0.0001μm |
| X軸移動量 |
50mm |
| 駆動部 |
X軸真直度 |
0.3μm（50mm） |
| 測定速度 |
0.1 0.2 0.5 1.0mm/ｓ |
| 上下移動量 |
300mm |
| 検出器 |
検出方式 |
差動イングスタンス |
| 触 針 |
円錐90度 先端曲率半径５μm ダイヤモンド |
| 表面粗さ解析プログラム |
SURFPAK-SV |
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